一、精密加工，一般指IT5以上精度要求的加工，用普通工藝、設(shè)備很難達(dá)到要求。一般都需要采用精密機(jī)床、精心設(shè)計(jì)的工藝、專(zhuān)用刀具和測(cè)量?jī)x器，在合適的環(huán)境中完成加工。

二、細(xì)微加工，廣義地說(shuō)，是指微小尺寸或者極小操作尺寸的加工。一般外形尺寸小于3毫米，以及少無(wú)切削加工工藝等都屬于細(xì)微加工。在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療等方面都有廣泛應(yīng)用。

細(xì)微加工除了機(jī)械加工外，多采用電加工、化學(xué)加工、波加工、等離子、激光、粒子、光刻等工藝手段。

從狹義的角度來(lái)講，細(xì)微加工主要是指半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)。

三、細(xì)微加工，不一定是精密加工。尤其在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，他們對(duì)精度的定義、要求與傳統(tǒng)機(jī)械加工的精度定義不一樣。

四、數(shù)控機(jī)床不一定是精密機(jī)床。數(shù)控技術(shù)解決的是控制、檢測(cè)、反饋、運(yùn)算以及部分的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。機(jī)械加工的精度主要還是取決于機(jī)械構(gòu)件的精度。